에이치엠넥스, 반도체 장비업체 에스엠아이 인수 완료

[이데일리 마켓in 권소현 기자] 발광다이오드(LED) 전문기업 에이치엠넥스(036170)(옛 클라우드에어)가 SK하이닉스에 납품하는 반도체 증착공정 LDS장비 전문회사인 ㈜에스엠아이(SMI) 지분 91.15% 인수를 위한 주식대금 265억원 납입을 완료하고 최대주주로 올라섰다고 7일 밝혔다. 이는 자기주식을 제외한 지분 100%에 해당한다.

에스엠아이의 오존수 공급장치 ‘림피오(Limpio)-S30’

에스엠아이는 반도체 증착공정 LDS(Liquid Chemical Delivery System, 증착화합물공급시스템) 장비 전문업체로 지난해 매출액 259억원, 영업이익 15억원을 올렸다. 전체 매출의 70% 이상을 SK하이닉스에 납품하는 중견 소부장회사다.

최근 SK하이닉스가 세계 최초로 고대역폭메모리(HBM) 6세대인 HBM4 12단 샘플을 엔비디아에 납품하면서 10년 이상 SK하이닉스의 증착 및 세정공정 설비를 담당한 에스엠아이도 수혜를 입을 것이란 기대가 높다. HBM4 12단 샘플은 AI 메모리가 갖춰야 할 세계 최고수준의 속도를 갖췄다는 평가를 받고 있다.

또 국내 최초로 셀(Cell) 방식의 오존수 공급장치(LIMPIO) 개발에 성공한 에스엠아이가 SK하이닉스에 ‘오존수 공급장치 1호기’ 1대를 납품했다.

‘오존수 공급장치’는 반도체와 디스플레이, OLED 등 산업에서 초미세 스케일의 불량을 제거하기 위해 사용되는 독성 화학물질을 저감하는 대체장비다. 가격과 성능면에서의 경쟁력과 함께 환경친화적 입장에서 ESG개선에도 효과적이란 평가를 받고 있다.

에스엠아이는 현재 반도체용과 LCD용, 고농도(황산대체) 등 5개 오존수 공급장치 모델에 대한 개발을 완료했다.

에이치엠넥스 관계자는 “올해 향후 LDS 장비의 영업 확장과 함께 오존수 공급장치의 시장 진입도 가속화될 것”이라며 “이번 반도체 회사 인수로 기존 자동차용 LED사업에서 반도체 장비 제조 및 판매사업까지 지속성장을 위한 사업포트폴리오를 완성하게 됐다”고 말했다.