한국기술교육대, ‘원자 보는 현미경’ 도입

300kV 수차보정 투과전자현미경
반도체-신소재 구조 분석에 활용

한국기술교육대학교는 나노 원자 수준의 초정밀 미세구조 분석이 가능한 ‘300kV 수차보정 투과전자현미경(Double Cs-TEM)’을 도입했다고 20일 밝혔다.

새로 도입된 현미경은 가속전압 300kV 전자총에서 방출된 전자가 시료의 원자 구조와 상호작용해 만든 무늬 등을 통해 나노미터를 넘어 원자 수준까지 관찰할 수 있다. 특히 에너지 분산형 X-선 분광기(EDS)가 탑재돼 나노 구조 시료의 정밀 성분 분석과 불량 원인 규명이 가능하다.

이에 따라 반도체 디스플레이 소재와 박막뿐만 아니라 금속, 섬유, 지질, 바이오, 환경, 에너지, 화학 등 미래 신소재 개발에 필요한 내부 미세구조 분석이 가능하다. 또한 융합소재 공정 중 발생하는 미세 이물의 성분을 식별하고 제품 변형의 근본 원인을 파악하는 데 보탬이 될 것으로 기대된다.

현미경 도입은 2024년 8월 선정된 산업통상자원부 산업혁신기반구축 고도화 사업의 일환으로 추진됐다. 전체 사업비 94억 원(국비 70억 원, 민간 대응금 24억 원) 중 약 45억 원(국비 39억 원 등)의 예산이 투입됐다.

대학 측은 현미경을 기업의 소재 제품 개발 과정에서 발생하는 문제의 원인을 밝히고 해결 방향을 지원하는 데 활용할 방침이다. 유길상 총장은 “첨단 300kV 수차보정 투과전자현미경이 대학 교육과 연구 역량을 한층 끌어올리고 산업현장에 더 기여할 수 있는 새로운 도약의 발판이 되길 기대한다”고 했다.

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