강원대 연구팀, 하버드대와 국제공동연구로 반도체 성능 저하 원인 규명

기업 > 반도체·전자 강원대 연구팀, 하버드대와 국제공동연구로 반도체 성능 저하 원인 규명 엄한돈 화학공학과 교수결함 해결 설계안도 제시강원대 앵커사업단 지원 엄한돈 강원대 화학공학과 교수. [강원대] 국내 대학 연구진이 반도체 성능을 떨어뜨리는 결함의 근본적인 원인을 규명하고 이를 해결할 설계안을 제시해 눈길을 끌고 있다.강원대는 엄한돈 화학공학과 교수가 미국 하버드대와 국내 연구기관의 공동 연구에 참여해 이 같은 성과를 냈다고 29일 밝혔다.반도체 소자에서는 실리콘과 절연막이 만나는 경계면에 원자 수준의 결함이 생길 수 있다. 이 결함은 전류 누설과 전력 소모 증가를 일으켜 소자의 성능과 수명을 떨어뜨린다. 그동안 업계에서는 수소 열처리로 결함을 줄여왔다.연구팀은 원자 단위 정밀 분석을 통해 수소가 많이 남아 있는 박막(얇고 고르게 입힌 물질의 겹) 일수록 경계면 결함도 많다는 사실을 확인했다. 경계면의 품질을 좌우하는 요인이 수소의 양보다 산화막의 완성도에 있다는 점도 밝혀냈다.이를 바탕으로 치밀한 산화막을 형성해 후속 수소 열처리 없이도 결함을 크게 줄인 경계면을 구현했다. 연구는 한국연구재단 글로컬R&D지원사업과 강원대 앵커사업단의 지원을 받아 수행했다. 연구성과는 재료과학 분야 학술지 ‘어드밴스드 머티리얼스(Advanced Materials)’에 게재됐다.엄 교수는 “결함을 사후에 보완하는 대신 애초에 형성되지 않도록 하는 계면 설계 원리를 제시한 것”이라며 “특정 소자에 국한되지 않는 원천 기술인 만큼 반도체 전반의 품질과 신뢰성 향상에 기여할 것으로 기대한다”고 말했다. 핵심요약 쏙AI 요약은 OpenAI의 최신 기술을 활용해 핵심 내용을 빠르고 정확하게 제공합니다. 전체 맥락을 이해하려면 기사 본문을 함께 확인하는 것이 좋습니다 국내 대학 연구진이 반도체 성능 저하의 원인을 규명하고 이를 해결할 설계안을 제시했다. 강원대 화학공학과의 엄한돈 교수는 미국 하버드대와 협력하여 경계면 결함을 줄이는 방법으로 치밀한 산화막을 형성하는 기술을 개발했다고 밝혔다. 이 연구성과는 ‘어드밴스드 머티리얼스’에 게재되었으며, 반도체 소자의 전반적인 품질 향상에 기여할 것으로 기대된다. 매일경제 회원전용 서비스 입니다. 기존 회원은 로그인 해주시고, 아직 가입을 안 하셨다면, 무료 회원가입을 통해 서비스를 이용해주세요 무료 회원 가입 로그인