신성이엔지, 제습모듈 'EDM' 누적 100대 출하…"연내 3세대 초소형 모델 개발"

[이데일리 신하연 기자] 신성이엔지(011930)가 자체 개발한 장비용 제습 모듈 ‘EDM(Equipment Dehumidify Module)’의 누적 출하량 100대를 돌파했다. 반도체 공정용 핵심 제습 설비를 자체 기술로 내재화한 데 이어 공급처 확대에도 속도를 내고 있다.

신성이엔지는 2023년 개발을 완료한 EDM이 지난해 3월 첫 납품을 시작한 이후 약 2년 만에 누적 출하 100대를 달성했다고 2일 밝혔다.

(사진=신성이엔지)

EDM은 미세입자 제거(파티클 필터링)와 제습 기능을 하나의 장비에 통합한 모듈로, 반도체와 드라이룸 등 첨단 제조공정에서 사용된다. 고성능 로터를 통해 상대습도를 5%RH 수준까지 정밀하게 제어할 수 있으며, 실시간 습도 센서와 자동 제어 시스템을 적용해 공정 중에도 안정적인 제습 환경을 유지하도록 설계됐다. 소형화 설계를 통해 생산라인 내 설치 편의성도 높였다.

회사는 반도체 공정에서 습도가 수율을 좌우하는 핵심 변수라는 점에 착안해 고객사의 수율 개선 요구에 대응하기 위해 EDM을 자체 개발했다. 현재는 국내 주요 반도체 장비 및 소재 업체에 제품을 공급하고 있으며, 이번 출하 100대를 계기로 공급처를 확대하고 기술 고도화도 추진할 계획이다.

신성이엔지는 현재 2세대 슬림·모듈형 제품 개발을 완료해 현장에 적용하고 있으며, 올해 안에 3세대 초소형 EDM 개발도 마무리한다는 목표다. 향후에는 반도체 공정장비뿐 아니라 다양한 산업 분야로 적용 범위를 넓힐 방침이다.

김동권 신성이엔지 클린환경 연구실장은 “EDM은 고객 요구를 반영해 지속적으로 성능을 개선하고 있다”며 “앞으로도 기술 고도화를 통해 적용 분야를 확대하고 차별화된 제습 솔루션을 제공하겠다”고 말했다.