아이엠티 "HBM 세정장비 삼성전자에 공급 추진"

이 기사는 6월 2일 오전 8시 30분 한국경제신문 투자정보 플랫폼 '한경 프리미엄9'에 게재됐습니다.

반도체 건식 세정 장비업체 아이엠티가 삼성전자에 고대역폭메모리(HBM)용 세정 장비를 공급하는 방안을 추진한다.

최재성 아이엠티 대표(사진)는 3일 경기 수원 사무실에서 한 인터뷰에서 “마이크론에 납품한 장비를 삼성전자 공정에 맞춰 다시 개발해 현재 테스트를 진행하고 있다”고 밝혔다.

아이엠티는 2000년 설립된 반도체 세정 장비 전문기업이다. 수년 전 드라이아이스 건식 세정 기술을 세계 최초로 상용화해 마이크론 HBM 생산라인에 공급했다. HBM은 D램을 쌓는 단수가 높아질수록 입자(파티클)를 정밀하게 제거해야 하기 때문에 세정 기술이 중요하다. 최 대표는 “연내 2마이크로미터(㎛·1㎛=100만분의 1m)급 파티클을 제거할 수 있는 제품을 양산할 수 있다”고 자신했다. 아이엠티는 0.1㎛급 파티클을 제거하는 장비도 개발하고 있다.

최 대표는 웨이퍼 휨(워피지) 제어 장비와 관련해선 “SK하이닉스 연구진과 공동 개발하고 있다”며 “올해 시제품을 완성한 후 내년 양산한다는 목표를 세웠다”고 말했다. HBM은 적층 단수가 증가할수록 웨이퍼를 더욱 얇게 가공해야 하는데 이 과정에서 워피지 현상이 발생하면 수율이 하락한다.

최 대표는 올해 실적이 큰 폭으로 개선될 것으로 내다봤다. 지난해 아이엠티 매출은 329억원으로 전년(136억원) 대비 141.9% 증가했다. 올해는 지난 1분기 매출 122억원을 기록했다.

최 대표는 자회사인 아이엠텍플러스의 성장도 기대한다. 아이엠티는 2024년 반도체 사업 시너지 효과를 기대하고 아이엠텍플러스 경영권을 인수했다. 아이엠텍플러스는 프로브카드에 들어가는 다층 세라믹 기판(MLC)을 생산하는 업체다. 프로브카드는 반도체 웨이퍼 상태의 칩을 검사할 때 불량 여부를 선별하는 데 쓰이는 부품이다.

아이엠텍플러스는 2024년 아이엠티에 인수된 이후 성장세가 가팔라졌다. 인력과 투자를 늘린 효과로 분석됐다. 최근엔 중국 최대 프로브카드업체인 DGT와 공급 계약을 맺었다. 최 대표는 “올 4분기부터는 생산 라인 증설 효과로 매출이 더 큰 폭으로 증가할 것”이라고 말했다.

수원=이광식 기자 bumeran@hankyung.com