“中, DUV 노광장비 생산 돌입”…반도체 자립 속도

중국 베이징의 한 상점 출입구에 오성홍기가 걸려 있다. 2025.9.2/뉴스1 중국의 반도체 장비업체가 자체 개발한 심자외선(DUV) 노광장비를 생산하기 시작한 것으로 알려지면서 중국의 반도체 자립에 한층 속도가 붙을 전망이다.27일(현지시간) 미 정보기술(IT) 전문매체 디인포메이션과 로이터통신 등에 따르면 상하이에 본사를 둔 국유 기업이 액침식 DUV 노광장비 생산을 시작했다. 디 인포메이션은 해당 회사명을 공개하지 않았다. 다만 상하이 위량성테크놀로지(上海宇量昇科技)를 포함한 여러 기업의 DUV 개발팀이 합류했다가 전했다. 해당 업체에서 생산된 노광장비는 올해 안에 중국 메모리 반도체 대표기업인 창신메모리테크놀로지(CXMT)와 화훙반도체, SMIC 등에 공급될 예정이다. 다만 생산 규모는 많지 크지 않은 것으로 알려졌다. 올해 약 5대를 시작으로 내년에는 약 20대의 DUV 장비가 생산될 것이라고 소식통은 전했다.익명을 요구한 소식통들은 디 인포메이션에 “이번 기술적 돌파는 장기적으로 중국 시장에서 ASML의 지위를 위협할 수 있는 계기가 될 수 있다”고 밝혔다. 다만 현재 장비의 성능과 신뢰성은 여전히 개선이 필요하며 대량 생산에 앞서 추가 검증이 요구된다고 덧붙였다.액침식 DUV 노광장비는 실리콘 웨이퍼 위에 회로를 새기는 장비다. 네덜란드 반도체 장비업체 ASML는 미국 주도의 수출 통제에 따라 극자외선(EUV) 노광장비의 대(對)중 수출을 중단한 데 이어 최상급 액침 DUV 장비 판매도 제한하고 있다. 현재 중국에 공급되는 장비는 최신 모델에 한층 뒤쳐진 모델이다. 이번 보도는 CXMT가 중국 증시 데뷔와 동시에 주가가 400%가 넘게 급등한 직후 이뤄졌다. 전문가들은 CXMT가 D램(DRAM) 시장에서 삼성과 SK하이닉스와의 격차를 줄일 것이라고 전망하고 있다. 중국이 자체 개발한 노광장비의 개발과 양산에 성과를 낸다면 CXMT가 D랩은 물론 고대역폭메모리(HBM) 시장에서도 두각을 나타낼 가능성이 생긴다.중국의 자체 노광장비 양산 소식이 전해지면서 이날 ASML 주가는 7% 넘게 하락했다. 미 나스닥에서도 샌디스크 11.02%, SK하이닉스(ADR) 7.47%, 마이크론 2.25% 등 반도체주들이 일제히 하락했다. 베이징=김철중 특파원 tnf@donga.com© dongA.com All rights reserved. 무단 전재, 재배포 및 AI학습 이용 금지 좋아요 0개 슬퍼요 0개 화나요 0개...