반도체 소재, 공장 투입 전 전북대서 시험…642억 특화단지 조성

사회 > 교육 반도체 소재, 공장 투입 전 전북대서 시험…642억 특화단지 조성 642억 규모 소재·케미컬 특화단지2027년부터 핵심 실증장비 8종 도입기업 개발 소재 성능·안전성 검증2031년까지 전문인력 2050명 양성 전북에 642억원 규모의 반도체 소재 특화단지가 조성되며, 전북대는 기업이 개발한 소재를 실제 생산라인에 투입하기 전 성능과 안전성을 검증하는 시설을 구축한다. 전북대학교 전경. [전북대학교] 기업이 개발한 반도체 소재를 생산라인에 투입하기 전 성능과 안전성을 검증하는 ‘실전 시험장’이 전북대학교에 구축된다.전북대 반도체공동연구소는 전북 반도체 소재·케미컬 특화단지의 실증과 평가, 전문인력 양성을 담당한다고 28일 밝혔다. 사업비는 모두 642억원 규모다. 익산 제3산업단지와 새만금국가산업단지를 생산·연구개발 거점으로 삼고, 익산국가산업단지와 완주일반산업단지를 협력기업 생산기지로 연결한다.특화단지에는 동우화인켐과 OCI, PKC, 한솔케미칼 등 반도체 소재·케미컬 기업이 참여한다. 이들 기업이 소재 개발과 공급을 맡으면 전북대 반도체공동연구소가 실제 공정에 적합한지 검증하는 구조다.반도체 제조에는 웨이퍼를 씻는 세정액과 회로를 얇게 입히는 증착용 전구체, 불필요한 부분을 깎아내는 식각가스 등 다양한 화학 소재가 사용된다. 불순물이 극소량만 섞이거나 기존 공정과 맞지 않아도 반도체 수율과 품질에 영향을 줄 수 있어 양산 전 반복적인 검증이 필요하다.그러나 공정 실증에는 고가의 장비와 클린룸이 필요해 개별 기업, 특히 중소기업이 독자적으로 시설을 갖추기에 부담이 크다. 전북대는 기업들이 장비를 함께 이용할 수 있는 공동 테스트베드를 마련해 제품 개발에 드는 시간과 비용을 줄일 계획이다. 테스트베드는 개발한 기술이나 제품을 실제와 비슷한 환경에서 시험하는 시설을 뜻한다.전북대는 2027년부터 2031년까지 첨단 케미컬 테스트베드를 구축하고 세정·증착·식각 소재의 성능과 신뢰성, 제품화를 검증할 핵심 장비 8종을 도입한다. 연구소 내 반도체 제조시설인 ‘팹 클린룸’에서는 세정액과 첨가제 실증, 전구체 합성·정제, 박막 특성 평가, 식각가스 반응 분석, 극미세 불순물과 결함 분석 등이 이뤄진다.기업이 개발한 소재를 전북대가 기초 평가와 공정 실증을 통해 1차로 검증한 뒤, 올해 업무협약을 맺은 용인 트리니티팹에서 대량생산 가능성을 평가하는 단계별 지원체계도 구축한다.공동 연구개발도 추진한다. 차...