[이데일리 김형일 기자] 검사·자동화 장비 전문기업 팸텍(271830)이 반도체 패키징 공정 자동화와 테스트 온도제어 장비를 선보이며 반도체 장비 사업 확대에 나선다고 10일 밝혔다.
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| 팸텍 CI.(사진=팸텍) |
팸텍은 9일부터 11일까지 인천 송도컨벤시아에서 열리는 ‘KPCA SHOW 2026’에 참가해 패널 레벨 패키징(PLP)용 유리기판 핸들링 로봇·시스템(Glass Substrate Handling Robot/System)과 휴대형 펠티어 시스템(Portable Peltier System)을 공개하고 있다.
PLP용 유리기판 핸들링 로봇·시스템은 대면적 유리기판을 공정 사이에서 안정적으로 이동시키고 정밀하게 핸들링하기 위한 자동화 장비다. 기판의 이송과 위치·자세 제어, 공정 간 연계 등을 지원하며 고객 공정에 맞춰 자동화 시스템으로 구성할 수 있다.
팸텍은 반도체 패키징 기술이 고도화되면서 패널 단위의 대면적 기판을 활용하는 패널 레벨 패키징 기술에 대한 관심이 높아지는 가운데 기존 검사·자동화 기술을 기반으로 유리기판 핸들링 분야를 신규 성장 영역으로 확대할 계획이다.
이번 전시에서는 ‘휴대형 펠티어 시스템도 공식 출시했다. 펠티어 소자를 활용해 반도체와 전자부품의 고온·저온(Hot/Cold) 테스트에 필요한 이동형 온도 환경을 구현하는 시스템으로 개발·평가 단계의 독립형 테스트부터 양산 공정까지 활용할 수 있다.
양산 단계에서는 고객사의 공정과 테스트 조건에 맞춰 연속식 자동화 라인에 통합할 수 있도록 맞춤형 구성이 가능하다. 팸텍은 이를 바탕으로 개발 단계의 단품 평가부터 양산라인 검사까지 펠티어(Peltier) 기반 온도제어 기술의 적용 범위를 넓혀갈 방침이다.
팸텍 관계자는 “이번 KPCA SHOW 2026을 통해 PLP용 유리기판 핸들링 장비와 펠티어 기반 온도제어 시스템을 고객사에 직접 소개하고 있다”며 “전시 현장에서 확인한 고객 요구를 바탕으로 실제 공정 적용과 공동개발을 확대해 반도체 장비 포트폴리오를 지속적으로 강화해 나갈 계획”이라고 말했다.

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